[6p-A504-1~9] 12.2 評価・基礎物性

[6p-A504-3] 蒸着速度がポルフィリン誘導体薄膜の相転移に及ぼす影響: pMAIRSおよびGIXDによる解析

〇塩谷 暢貴¹、下赤 卓史¹、マーディー リチャード¹、枝 和男²、長谷川 健¹ (1.京大化研、2.神戸大院理)

キーワード：ポルフィリン、pMAIRS、微小角入射X線回折

ZnTPPは種々の有機デバイスに使われる可溶性半導体材料であり，ウェットおよびドライプロセス両方から薄膜を作製できる．ZnTPPのデバイス特性を調べた研究例は数多く報告されているにもかかわらず，その薄膜構造を詳細に調べた例はほとんどない．本研究では，pMAIRS法とGIXD法を組み合わせた解析手法を用いることで，蒸着速度がZnTPP蒸着膜のアニーリングによる相転移プロセスに甚大な影響を与えることを明らかにした．