[6p-C13-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [6p-C13-3] 透明基板上単結晶GeSn n⁺/p接合フォトダイオードの作製と評価

〇岡 博史¹、井上 慶太郎¹、冨田 崇史¹、和田 裕希¹、細井 卓治¹、志村 考功¹、渡部 平司¹ (1.阪大院工)

キーワード：ゲルマニウムスズ、透明基板、フォトダイオード