[6p-C13-1~15] 3.15 Silicon photonics

△ [6p-C13-8] Fabrication and Evaluation of Optical Modulator with Vertical PN Junction Based on Strip-loaded Waveguide

〇Yuriko Maegami¹, Guangwei Cong¹, Morifumi Ohno¹, Makoto Okano¹, Kazuto Itoh², Nobuhiko Nishiyama², Shigehisa Arai², Koji Yamada¹ (1.AIST, 2.Tokyo Tech.)

Keywords:silicon photonics, optical modulator, strip-loaded waveguide

リブ型シリコン導波路を用いたキャリア空乏型の位相変調器は高速な変調特性を得ることができる。その中でも、縦型PN接合構造は光モードフィールドと空乏層とのオーバーラップが増大することから変調効率の向上が期待される。本研究では、リブ部としてSOI基板上にアモルファスシリコンを装荷する新規位相変調器構造のマッハ・ツェンダー変調器 (MZM) を作製し、変調特性を確認したので報告する。