[6p-C14-1~19] 3.13 Semiconductor optical devices

[6p-C14-6] VCSEL-Integrated Beam Steering Device with Unidirectional Coupling

〇Keisuke Shimura¹, Ho Zeuku¹, Gu Xiaodong¹, Akihiro Matsutani², Masanori Nakahama¹, Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech, FIRST, 2.Tokyo Tech. Semiconductor and MEMS Processing Division.)

Keywords:VCSEL

ビーム掃引デバイスは，自動運転の車載LiDARなどへの応用として期待されている．本研究では，一方向性結合を可能にする面発光レーザを集積した非機械式のビーム掃引デバイスを提案する．前回の応物では，TCC-VCSELを用いた光源と増幅器の集積構造で約13°の掃引幅と30点以上の解像点数を実現した．今回は高い結合効率とモード安定化のための一方向性結合を可能にする新たな光源集積型デバイスの提案とシミュレーションを行ったので報告する．