[6p-C14-1~19] 3.13 半導体光デバイス

[6p-C14-6] 一方向性結合を可能にするVCSEL集積型ビーム掃引デバイス

〇志村 京亮¹、許 在旭¹、顧 暁冬¹、松谷 晃宏²、中濵 正統¹、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部マイクロプロセス部門)

キーワード：面発光レーザ

ビーム掃引デバイスは，自動運転の車載LiDARなどへの応用として期待されている．本研究では，一方向性結合を可能にする面発光レーザを集積した非機械式のビーム掃引デバイスを提案する．前回の応物では，TCC-VCSELを用いた光源と増幅器の集積構造で約13°の掃引幅と30点以上の解像点数を実現した．今回は高い結合効率とモード安定化のための一方向性結合を可能にする新たな光源集積型デバイスの提案とシミュレーションを行ったので報告する．