[6p-C14-1~19] 3.13 Semiconductor optical devices

[6p-C14-7] Investigation of Coupling Efficiency of VCSEL Amplifier

〇Zeuku Ho¹, Keisuke Shimura¹, Xiaodong Gu¹, Masanori Nakahama¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST, 2.Tokyo Tech. Dept. Tech.)

Keywords:VCSEL, Semiconductor Optical Amplifier

面発光レーザ(VCSEL)は小型で高ビーム品質といった特徴を有し可搬式レーザ加工機への応用の可能性がある．しかしVCSELの単一モード出力は数mWにとどまっており，我々は高出力化のためにVCSELとブラッグ反射鏡導波路による半導体光増幅器(SOA)との集積構造を提案した．今回はSOA単体の特性を評価するため外部光源を結合させるデバイスを作製し，高結合効率を可能とする構造について検討したので報告する．