[6p-C14-1~19] 3.13 半導体光デバイス

[6p-C14-7] 面発光レーザ増幅器の結合効率の検討

〇許 在旭¹、志村 京亮¹、顧 暁冬¹、中濵 正統¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部)

キーワード：面発光レーザ、半導体光増幅器

面発光レーザ(VCSEL)は小型で高ビーム品質といった特徴を有し可搬式レーザ加工機への応用の可能性がある．しかしVCSELの単一モード出力は数mWにとどまっており，我々は高出力化のためにVCSELとブラッグ反射鏡導波路による半導体光増幅器(SOA)との集積構造を提案した．今回はSOA単体の特性を評価するため外部光源を結合させるデバイスを作製し，高結合効率を可能とする構造について検討したので報告する．