[6p-C16-1~17] 機能性原子膜材料の最新応用研究と将来展望

[6p-C16-13] IoT向けスパッタMoS₂チャネルMOSFETの研究

〇若林 整¹ (1.東京工業大学)

キーワード：半導体、遷移金属ダイカルコゲナイド、二流化モリブデン

IoT向けスパッタMoS₂チャネルMOSFETの研究