[6p-C16-1~17] 機能性原子膜材料の最新応用研究と将来展望

△ [6p-C16-15] ハライドアシストMOCVDによるTMDC成長と評価

〇(D)小林 佑¹、吉田 昭二²、村瀬 康太²、岡田 直也³、入沢 寿史³、真庭 豊¹、重川 秀実²、宮田 耕充¹ (1.首都大理工、2.筑波大数理、3.産総研)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、MOCVD、成長

本研究では，TMDC成長に非常に有用だと考えられるが、未だ報告例が少ない有機金属（MO）原料を用いたMOCVDによるTMDCの成長制御と結晶性向上を，アルカリハライド（AH）を用いて初めて行った。本結果では，AHを用いることで，結晶の核密度の低下，約10倍の結晶サイズの向上，及び欠陥濃度の大幅な低下が確認された。本手法は簡便かつ短時間で成膜が可能であり，高品質結晶の成長やヘテロ構造作製への展開に繋がる重要な成果といえる。