[6p-C16-1~17] 機能性原子膜材料の最新応用研究と将来展望

[6p-C16-5] 自己制御表面酸化によるWSe₂原子層トランジスタの高受光感度化

〇山本 真人¹、上野 啓司²、塚越 一仁³ (1.阪大産研、2.埼玉大院理工、3.物材機構)

キーワード：原子層半導体、遷移金属ダイカルコゲナイド、受光素子

遷移金属ダイカルコゲナイド原子層は、強い光―物質相互作用を示すことから新奇オプトエレクトロニクス材料として期待されている。本講演では、高い電子トラップ性を示す表面酸化膜を持つWSe₂原子層トランジスタにおいて、非常に高い受光感度を実現したので報告する。