2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 新デバイス・材料開発のためのナノスケール3次元分析(I)

[6p-C19-1~8] 新デバイス・材料開発のためのナノスケール3次元分析(I)

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:30 C19 (C19)

小山 正人(東芝)、橋詰 富博(日立)

14:15 〜 14:45

[6p-C19-2] 放射光マイクロ〜ナノCTを用いた微細3次元構造解析:地球外物質を例として

土山 明1 (1.京大理)

キーワード:はやぶさサンプル

放射光を用いた結像CTでは、定量的な吸収および位相コントラストを用いて、~100 nmの実効空間分解能において、化学組成および密度の情報をもつ微細3次元構造を得ることができる。この手法について、はやぶさサンプルを始めとする地球外物質への応用例を紹介する。