[6p-C19-1~8] 新デバイス・材料開発のためのナノスケール３次元分析（Ｉ）

[6p-C19-4] FIBSEMとの組み合わせによるナノスケール解析

〇加藤 淳¹、木村 耕輔¹、久留島 康輔¹、清水 夕美子¹、内城 貴則¹、安田 光伸¹ (1.TRC)

キーワード：FIBSEM

高精度の断面加工と高分解能SEM観察を特徴とするFIB/SEM複合機を用いて、微小領域のサンプリングと各種観察・分析手法を組み合わせた評価事例や三次元解析事例を紹介し、評価方法の有効性や課題について議論する