[6p-C23-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [6p-C23-10] 異なる表面金属層を用いた高安定銀薄膜の光学特性

〇(M1)工藤 映太¹、日比谷 宗真¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹、金 敬鎬¹、杉山 拓也²、室谷 裕志² (1.北見工大、2.東海大院工)

キーワード：銀薄膜、表面層、光学特性

我々はRFマグネトロンスパッタリングを用いてガラス基板上にAl/Ag, Ti/Ag積層膜を作成し、その表面形態と光学特性を調査した。
銀の膜厚は150 nmとし、表面層を1 nm, 3nm, 5nmと変化させた。表面粗さはAgに表面層金属を積層させることによって抑えられることが明らかになった。また光学特性はAl, Ti共に3 nm, 5 nm積層試料は銀単層よりも低い反射率を示したが、1 nm積層試料は銀単層とほぼ同様の反射率を示した。