[6p-C23-1~16] 6.4 Thin films and New materials

△ [6p-C23-6] Orientation control and evaluation of electron transport properties in TiH₂ epitaxial thin films

〇Yuki Sasahara¹, Ryota Shimizu¹, Rie Nakanishi¹, Issei Sugiyama¹, Kazunori Nishio¹, Hiroyuki Oguchi², Shin-ichi Orimo^2,3, Taro Hitosugi¹ (1.Tokyo Tech, 2.Tohoku Univ. AIMR, 3.Tohoku Univ. IMR)

Keywords:metal hydride, epitaxial growth, orientation control

金属水素化物は次世代エレクトロニクス材料への応用が期待されており、そのような応用を見据え、我々のグループでは、金属水素化物のエピタキシャル成長を報告してきた。しかしながら、金属水素化物エピタキシャル薄膜の結晶方位を規定した詳細な物性研究は報告されていない。そこで本研究では (110)及び(111)配向したTiH₂エピタキシャル薄膜の作製に成功し、その配向に依存した輸送特性を観測したので報告する。