[6p-C24-1~13] 6.6 Probe Microscopy

[6p-C24-2] Thermal vibration measurement of a micro cantilever using Fabry-Pérot Interferometer

〇Yusuke Tsujiie¹, Fumiya Hino², Shinya Marubayashi², Yoshiyuki Kawamura^1,2 (1.Grad. Sch. of FIT, 2.Fukuoka Inst. of Tech.)

Keywords:microcantilever, Fabry-Perot interferometer, thermal vibration

マイクロ片持ち梁の熱振動は，プローブ顕微鏡の計測限界の一つとなりうる．熱振動の高性能な制振には，高感度な計測が必要となる．本研究では，新たにファブリ・ペロー干渉計を用いることで，従来より高感度な熱振動計測を実現した．