[6p-PA7-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[6p-PA7-11] 低温成長InSbがGaAs基板上InSb薄膜成長に与える影響

〇渡邊 優介¹、椎野 響太¹、伊藤 峰水¹、鈴木 浩基¹、藤川 紗千恵²、町田 龍人¹、藤代 博記¹ (1.東理大院基礎工、2.電機大工)

キーワード：MBE、InSb、二段階成長