[6p-PA8-1~31] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[6p-PA8-4] 光電子回折・分光法を用いた絶縁膜/GaN界面の電子状態と原子構造の評価

〇藤本 裕太¹、上沼 睦典¹、太田 紘志¹、松井 文彦¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：光電子回折・分光法、GaN