[6p-PB1-1~8] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[6p-PB1-5] Fabrication of Heat-Resistant and Flexible ZnO Piezoelectric Sheet by Coating Methods

〇Toshimi Nagase¹, Kazuhiro Nonaka¹, Shuichi Ishida¹, Tatsuo Tabaru¹, Morito Akiyama¹, Yasushi Sato^1,2 (1.AIST, 2.Kyutech)

Keywords:piezoelectric body, flexibility, coating method

フレキシブル圧電シートは、その柔軟性を生かした新たなセンシング技術開発をもたらすと注目されている。しかし、代表的な高分子圧電体PVDFは、その耐熱性が低いため応用範囲は限定される。本研究では、柔軟性と高耐熱性を両立する圧電シート開発のため、大面積化と低コスト化に有利な塗布法により、ポリイミド基材直上にZnO圧電膜の成膜を試み、120℃の耐熱性を示すZnO圧電シートの作製に成功した。