[6p-S41-1~10] 7.5 Ion beams

[6p-S41-4] Comparison of field-evaporated ions from nitride and zirconium nitride

〇(M2)Chikasa Nishimura¹, Hiroshi Tsuji¹, Yasuhito Gotoh¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:atom probe, time of flight, nitride

化合物のアトムプローブ(AP)分析において、検出される原子の組成に必ずしも定量性が得られるとは限らないという問題がある。この問題解決への手がかりとして、化合物の電界蒸発機構の解明は必須である。そこで、化合物の中でも軽元素を含む材料に着目し、遷移金属窒化物についてAP分析を行っている。今回は、窒化チタンと窒化ジルコニウムについて観測された飛行時間スペクトルのピーク位置を比較することで、検出されたイオン種の特定を行った。比較を行った結果、Zr²⁺などの電界蒸発イオンが観測されていることがわかった。