2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[6p-S41-1~10] 7.5 イオンビーム一般

2017年9月6日(水) 13:30 〜 16:15 S41 (第1会議室)

阿保 智(阪大)、瀬木 利夫(京大)

14:30 〜 14:45

[6p-S41-5] TOF-ERDAでの酸素の検出感度評価

梶取 悠太1、大石 桃未1、〇安田 啓介1、春山 洋一1、中田 吉則2、鈴木 耕拓2 (1.京都府大生命環境、2.若狭湾エネ研セ)

キーワード:TOF-ERDA、感度、酸素

TOF-ERDA法での、シリコン基板にイオン注入された酸素に対する検出感度を実験的に評価した。検出下限として、エネルギーが12 MeVの銅ビームを用いた測定で3.1×1014 cm-2、エネルギーが8 MeVの炭素ビームを用いた測定では3.3×1015 cm-2という値が得られた。