[6p-S41-1~10] 7.5 イオンビーム一般

[6p-S41-5] TOF-ERDAでの酸素の検出感度評価

梶取 悠太¹、大石 桃未¹、〇安田 啓介¹、春山 洋一¹、中田 吉則²、鈴木 耕拓² (1.京都府大生命環境、2.若狭湾エネ研セ)

キーワード：TOF-ERDA、感度、酸素

TOF-ERDA法での、シリコン基板にイオン注入された酸素に対する検出感度を実験的に評価した。検出下限として、エネルギーが12 MeVの銅ビームを用いた測定で3.1×10¹⁴ cm^-2、エネルギーが8 MeVの炭素ビームを用いた測定では3.3×10¹⁵ cm^-2という値が得られた。