[6p-S43-1~21] 11.4 アナログ応用および関連技術

[6p-S43-17] スパッタ成膜したAl薄膜超伝導共振器の特性と解析

〇野口 卓¹、Dominjon Agnes¹、関本 裕太郎¹ (1.国立天文台)

キーワード：超伝導体、共振器、マイクロ波

スパッタで成膜したAl薄膜を用いた超伝導共振器について、共振特性を詳細に測定し、解析を行なった。Tc/6以下の温度では、残留抵抗が近藤効果的な温度依存性を示すため、温度の低下と共にQ値が減少することがわかった。また、Tc/6以下の温度では、残留準粒子の力学インダクタンスが共振周波数の変動に、無視できない大きさの寄与があることがわかった。