[6p-S43-1~21] 11.4 アナログ応用および関連技術

[6p-S43-7] Off-axisスパッタ法によるSmBCO薄膜の安定成膜

〇安達 成司¹、田辺 圭一¹ (1.超電導センシング技術研究組合)

キーワード：高温超伝導、薄膜、スパッタリング成膜

Off-axisスパッタ法によるSmBCO薄膜の安定成膜について報告する。化学量論組成のSmBCO焼結体ターゲットを使用し、DC放電による成膜を行なった。同一ターゲットを長く使用する場合、表面損耗に応じて成膜条件を刻々と変化させて行く必要がある。使用時間が長くなるとともに、基板高さを高くし、ターゲットを基板下へと徐々に移動することで、高品質薄膜を継続的に製造できることを見出した。