[6p-S44-1~21] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[6p-S44-10] シリコン量子ドットの形状制御による基板上への配列制御

〇山村 昌敬¹、杉本 泰¹、藤井 稔¹ (1.神大院工)

キーワード：シリコン量子ドット、半導体薄膜、形状

コロイド状半導体量子ドットの塗布や印刷による半導体薄膜の形成は、次世代の大面積電子デバイス作製プロセスとして注目されている。近年では量子ドット薄膜の電気伝導度改善のために、サイズが均一なファセットを有する多面体構造の量子ドットの作製及び配列が研究されている。化合物半導体量子ドットでは、形状の制御の報告はあるがシリコンでは数少ない。そこで本研究ではシリコン量子ドットの形状制御を行ったので報告する。