[7a-A201-1~8] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[7a-A201-2] 熱分解炭素被覆サセプタを用いたSiCエピリアクタクリーニング

塩田 耕平¹、倉島 圭祐¹、〇羽深 等¹、伊藤 英樹²、三谷 慎一²、高橋 至直³ (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)

キーワード：炭化珪素、クリーニング、三フッ化塩素

三フッ化塩素(ClF₃)ガスを用いてSiC堆積物を除去する方法（クリーニング）が提案されている。サセプタをClF₃ガスによる腐食から保護するために熱分解炭素膜が有効であることが把握された。本報告では、熱分解炭素被膜を設けたカーボンサセプタにSiCを製膜し、得られた膜をClF₃ガスにより除去した。これにより実際に製膜とクリーニングを試行したので、詳細を報告する。