[7a-A402-1~10] 8.4 プラズマエッチング

[7a-A402-1] 水素プラズマを用いた銅ドライエッチングにおける添加ガス効果

〇大参 宏昌¹、佐藤 純平¹、久保田 雄介²、平野 達也¹、垣内 弘章¹、安武 潔¹ (1.阪大院工、2.東京エレクトロン(株))

キーワード：水素プラズマ、銅、エッチング

高密度水素プラズマによる銅エッチングにおいてN2ガスを添加する効果を議論する。