[7a-A402-1~10] 8.4 プラズマエッチング

[7a-A402-10] 高温での窒化ガリウム低損傷塩素エッチング

〇石川 健治¹、劉 沢成¹、今村 真人¹、堤 隆嘉¹、近藤 博基¹、小田 修¹、関根 誠¹、堀 勝¹ (1.名古屋大学)

キーワード：プラズマエッチング、窒化ガリウム、プラズマ誘起ダメージ

GaN 化合物のエッチングおいて昇温下での表面反応におけるプラズマ発光と解離塩素原子との影響を調べた。GaN のエッチング反応中に表面吸着する塩素やGa 塩化物が、塩素の発光258 と306nm によって光解離するなど、ラジカルと光の同時照射でエッチピット形成が抑制される効果があり、表面凹凸の発生が低減する。