[7a-A402-1~10] 8.4 プラズマエッチング

[7a-A402-4] 金属表面におけるXeF₂曝露によるフッ化物層のエッチング反応

〇唐橋 一浩¹、伊藤 智子¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：エッチング、フッ素