[7a-A412-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[7a-A412-4] 高温・高圧処理によるダイヤモンド表面での微細ピラミッド形成

〇福田 玲¹、山本 直也¹、石川 史太郎¹、松下 正史¹、大藤 弘明²、新名 亨²、入舩 徹男² (1.愛媛大工、2.愛媛大GRC)

キーワード：半導体、ダイヤモンド