[7a-A413-1~9] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [7a-A413-9] リモート窒素プラズマ中のN2(A3Σu+)密度の放電管温度依存性

〇嶋林 正晴¹、栗原 一彰²、佐々木 浩一¹ (1.北大工、2.Toshiba/Imec)

キーワード：SiC、窒化