11:15 〜 11:30 △ [7a-A413-9] リモート窒素プラズマ中のN2(A3Σu+)密度の放電管温度依存性 〇嶋林 正晴1、栗原 一彰2、佐々木 浩一1 (1.北大工、2.Toshiba/Imec)