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[7a-C11-1] アルコールCVD法によるRu触媒からの単層カーボンナノチューブの低温成長及び成長機構の検討
キーワード:単層カーボンナノチューブ、化学気相成長、ルテニウム
単層カーボンナノチューブ(SWCNT)は優れた特性を多く有していることから、エレクトロニクス分野への応用が期待されている。我々の研究室ではこれまで白金族元素を触媒に用いてSWCNTの成長を報告しており、最近、白金族元素の中では比較的安価なRuを触媒に用いてSWCNTが成長することを報告した。本研究では成長条件を最適化することにより、450℃でのSWCNT成長に成功したので報告する