2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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[7a-C11-1~12] 17.1 カーボンナノチューブ,他のナノカーボン材料

2017年9月7日(木) 09:00 〜 12:15 C11 (事務室1)

片浦 弘道(産総研)、山本 貴博(東理大)

09:00 〜 09:15

[7a-C11-1] アルコールCVD法によるRu触媒からの単層カーボンナノチューブの低温成長及び成長機構の検討

藤井 貴之1、小川 征悟1、岡田 拓也1、才田 隆広1、成塚 重弥1、丸山 隆浩1 (1.名城大理工)

キーワード:単層カーボンナノチューブ、化学気相成長、ルテニウム

単層カーボンナノチューブ(SWCNT)は優れた特性を多く有していることから、エレクトロニクス分野への応用が期待されている。我々の研究室ではこれまで白金族元素を触媒に用いてSWCNTの成長を報告しており、最近、白金族元素の中では比較的安価なRuを触媒に用いてSWCNTが成長することを報告した。本研究では成長条件を最適化することにより、450℃でのSWCNT成長に成功したので報告する