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[7a-C14-4] 面発光レーザを用いた長周期ファイバグレーティング温度センサ
キーワード:長周期グレーティング、面発光レーザ、温度センサ
長周期グレーティング(LPG)センサは、様々な感度が可能で、また屈折率のセンサにもなる。従来光スペクトル解析器等が必要であったが、ここでは低コストの面発光レーザを単一縦モード発振の可変波長レーザとして利用しフォトダイオードで検出する。VCSELは 1.3 μm帯で、LPGはその波長域に合わせるためマスク傾斜法を用いて製作し、温度センシングの実験を行った。温度測定の自乗平均誤差は1.2℃であった。