[7a-C17-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7a-C17-1] スピンコート法によるZnMgO膜のMg濃度変化

〇富永 姫香¹、吉野 賢二^1,5、沈 青^2,5、豊田 太郎^2,5、峯元 高志^3,5、尾込 裕平^5,4、早瀬 修二^4,5 (1.宮崎大学工、2.電気通信大先端理工、3.立命館大理工、4.九工大院生命体工、5.JST-CREST)

キーワード：ZnMgO