[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-10] 円筒型回転ステージを用いたフレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の大気圧熱プラズマジェット照射による高速結晶化

〇中野 航¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマジェット