[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-8] ELA結晶化中のポリイミド基板上a-Si膜の温度解析

〇岡田 竜弥¹、我喜屋 風太¹、伊敷 優哉¹、野口 隆¹ (1.琉大工)

キーワード：薄膜トランジスタ、フレキシブルパネル