[7a-PA5-1~22] 3.8 光計測技術・機器

[7a-PA5-18] 遠赤外レーザーを用いたSiCウエハの光学定数測定

〇中山 和也¹、岡島 茂樹¹、秋山 毅志²、田中 謙治²、川端 一男² (1.中部大工、2.核融合研)

キーワード：遠赤外レーザー、屈折率、SiC

今後の核融合プラズマ計測のために、2波長遠赤外レーザーを用いた多チャンネルの干渉・偏光計の開発を進めている。多チャンネルの計測システムでは，使用する光学素子(窓やビームスプリッター)の材料選択が重要となる。そこで本研究では，パワー半導体材料として利用されるSiC に注目し，波長48，57，71，96，119 μm の遠赤外レーザー線に対するSiC ウエハの光学定数(屈折率と吸収係数)を測定した。