9:30 AM - 11:30 AM
[7a-PA6-11] NLD Dry Etching Process of Lead-free Ferroelectric BeFeO3 Film for Piezoelectric MEMS
Vibration Energy Harvester
Keywords:Vibration energy harvester, BiFeO3, MEMS
今までに、非鉛BiFeO3圧電体膜に着目し圧電MEMS振動発電素子を作製したところ、PZT圧電膜を搭載した素子と同等以上の発電性能を得ている。更に高い発電性能を得るためには様々な課題があるが、その一つとして圧電体膜の厚膜化が挙げられる。今回、BFO膜の厚膜化に伴い、そのエッチング工程を再検討した。その結果、NLDドライエッチング装置を使うことが有効であることが分かった。