[7a-PA6-1~14] 6.1 Ferroelectric thin films

[7a-PA6-11] NLD Dry Etching Process of Lead-free Ferroelectric BeFeO₃ Film for Piezoelectric MEMS
Vibration Energy Harvester

〇Shuichi Murakami¹, Kazuo Satoh¹, Masaaki Aramaki², Takeshi Yoshimura², Norifumi Fujimura² (1.ORIST, 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:Vibration energy harvester, BiFeO3, MEMS

今までに、非鉛BiFeO₃圧電体膜に着目し圧電MEMS振動発電素子を作製したところ、PZT圧電膜を搭載した素子と同等以上の発電性能を得ている。更に高い発電性能を得るためには様々な課題があるが、その一つとして圧電体膜の厚膜化が挙げられる。今回、BFO膜の厚膜化に伴い、そのエッチング工程を再検討した。その結果、NLDドライエッチング装置を使うことが有効であることが分かった。