[7a-PA6-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[7a-PA6-11] 圧電MEMS振動発電向け非鉛BiFeO₃膜のNLDドライエッチング

〇村上 修一¹、佐藤 和郎¹、荒牧 正明²、吉村 武²、藤村 紀文² (1.大阪技術研、2.阪府大院工)

キーワード：振動発電、BiFeO3、MEMS

今までに、非鉛BiFeO₃圧電体膜に着目し圧電MEMS振動発電素子を作製したところ、PZT圧電膜を搭載した素子と同等以上の発電性能を得ている。更に高い発電性能を得るためには様々な課題があるが、その一つとして圧電体膜の厚膜化が挙げられる。今回、BFO膜の厚膜化に伴い、そのエッチング工程を再検討した。その結果、NLDドライエッチング装置を使うことが有効であることが分かった。