[7a-PA6-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[7a-PA6-2] 化学溶液堆積法によるチタン酸バリウム厚膜の作製とナノシートテンプレートを用いた結晶配向性制御

〇村瀬 勝裕¹、舟窪 浩²、内田 寛¹ (1.上智大、2.東工大)

キーワード：チタン酸バリウム、厚膜、誘電体

近年、MEMSセンサーやアクチュエータに応用される圧電体材料として環境負荷や人体への悪影響が比較的少ない非鉛含有化合物の利用が注目されている。我々はこれまでに典型的な強誘電体/圧電体材料であるBaTiO₃ (BT) に着目し、その分極特性を向上させるためにCa₂Nb₃O₁₀ ナノシート (ns-CN) を用いたBT薄膜の選択的結晶配向成長について調査してきた。本研究では、MEMS応用に要求される膜厚約1000 nm のBT厚膜の作製、ならびにns-CNを用いたそれらの結晶配向性制御を試みた。