[7a-PA6-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[7a-PA6-8] プロトン照射による非鉛強誘電体厚膜の改質効果

平出 惇¹、〇山口 正樹^1,2、増田 陽一郎³ (1.芝浦工大工、2.芝浦工大RCGI、3.八戸工大工)

キーワード：強誘電体、プロトンビーム

我々は，プロトンビーム照射による厚膜の高アスペクト比パターンの実現を目指している．結晶化膜へのビーム照射により，一定量以上のドーズでは，結晶性の劣化に加えて漏れ電流特性の改善効果が認められている．本報告では，強誘電特性を含む物理的性質に及ぼすプロトンビーム照射の効果について述べる．