PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 0 コメント (0) 09:30 〜 11:30 [7a-PB3-6] 表面活性化と低温熱処理を併用したLiNbO3ウェハとSiO2/Siウェハの直接接合 〇多喜川 良1、日暮 栄治2,3、浅野 種正1 (1.九大シス情、2.産業技術総合研究所、3.東大工) キーワード:LNOI/Si、表面活性化低温接合