[7a-S45-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[7a-S45-6] ポリカーボネート上シリコーン膜表面に形成したF₂レーザー誘起SiO₂改質膜のクラック抑制（３）

〇野尻 秀智^1,2、大越 昌幸¹ (1.防衛大、2.レニアス)

キーワード：F2 レーザー、SiO2、改質

自動車用窓材への応用のため、ポリカーボネート上に塗布したシリコーンにF₂レーザーを照射しSiO₂膜を形成した。SiO₂の膜厚増加に伴い発生するクラックは、メッシュマスクを用い照射エリアを細分化することにより抑制した。しかし、100℃以上の耐熱試験時にクラックが生ずることが問題となった。本発表では、SiO₂膜の表面へのスチールウールによるラビング処理が、120℃ 3 hの加熱試験においてクラック抑制に効果であることを明らかにする。