[7p-A411-1~17] 1.5 計測技術・計測標準

[7p-A411-4] T D L A S 露点計の開発

〇本田 真一¹、杉村 賢一¹、板橋 健一¹、橋口 幸治²、阿部 恒² (1.神栄テクノロジー、2.産総研)

キーワード：湿度計測、吸収分光、レーザー

低湿度領域でも精度・応答性の高い計測を行うために、本研究では波長可変半導体レーザー分光法(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, TDLAS)を用いた計測器(TDLAS露点計)の開発を行っている。内容積の小さなガスセルを採用し、ガス置換に要する時間を短縮することで、応答性を高めることを目指した。その結果、露点0 ℃から-50 ℃の変化を約6秒(90 %応答時間)で検出することに成功した。国際単位系(SI)にトレーサブルな湿度標準との比較によって、1年間の長期安定性の評価を行ったところ、露点-50 ℃～-10 ℃の範囲においては、鏡面冷却式露点計と同等となる約0.1 ℃の長期安定性が得られた。