[7p-A412-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

[7p-A412-5] N₂含有DLC薄膜の中性子反射率による構造評価

〇宮田 登¹、宮崎 司¹、大越 康晴² (1.CROSS、2.東京電機大)

キーワード：中性子反射率、DLC