[7p-A412-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

△ [7p-A412-7] 積層DLC/N-DLC膜の電気抵抗率および摩擦係数

〇飯島 佑史¹、磯野 凌¹、出貝 敏¹、針谷 達¹、谷本 壮¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、安井 治之²、金子 智³、國次 真輔⁴、神谷 雅男⁵、瀧 真⁶ (1.豊橋技科大、2.石川工試、3.神奈川県立産総研、4.岡山県工技セ、5.伊藤光学、6.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、積層、摩擦

DLC膜は，高硬度，低摩擦などの優れた特性を持つが，導電性は低い。一方，DLC膜に窒素を含有させたDLC（N-DLC）膜は，導電性が向上するが，耐摩耗性が低くなる。本研究では，耐摩耗性と導電性を併せ持つハードコーティング膜として，DLC膜，N-DLC膜を用いた積層DLC膜を作製し，その電気抵抗率と摩擦係数を測定した。4層，8層DLC膜は，DLC膜と比べ，約半分の抵抗率となった。DLC膜，4層および8層DLC膜は，N-DLC膜と比べ，低い摩擦係数を示した。