[7p-A412-1~12] 6.2 Carbon-based thin films

△ [7p-A412-8] Adhesion Improvement of Hydrogen-Free DLC Film by employing Tungsten Carbide Interlayer

〇Ryo Isono¹, Tsuyoshi Tanimoto¹, Yushi Iijima¹, Toru Harigai¹, Yoshiyuki Suda¹, Hirofumi Takikawa¹, Masao Kamiya², Satoru Kaneko³, Makoto Taki⁴ (1.Toyohashi Univ. Technol., 2.Itoh Opt. Ind. Co., Ltd., 3.Kanagawa Inst. of Ind. Sci. Technol., 4.Onward Ceram. Coat. Co., Ltd.)

Keywords:Diamond-like carbon film, Tungsten carbide film, Filtered arc deposition

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，基板との密着性に課題がある。本研究では，DLC膜の中間層としてタングステンカーバイド膜（W-C膜）を導入し，DLC膜の密着性を評価した。膜厚30 nmのW-C膜を中間層として，膜厚 300 nmのa-Cおよびta-C膜を作製した。a-C膜では，中間層の有無に関わらず剥離は見られなかった。ta-C膜では，中間層の導入により密着性の向上が見られた。