[7p-A413-1~9] 8.1 プラズマ生成・制御

[7p-A413-2] 炭素薄膜成膜用非平衡大気圧He/H₂/CH₄プラズマのシミュレーション

〇(M2)大木 一真¹、小田 昭紀¹、太田 貴之²、上坂 裕之³ (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)

キーワード：非平衡大気圧プラズマ、炭素薄膜