[7p-C11-1~21] 17.3 Layered materials

[7p-C11-2] Insulating properties of h-BN layers on catalyst films synthesized with chemical vapor deposition

〇Daiyu Kondo^1,2, Kenjiro Hayashi^1,2, Taisuke Iwai¹, Shintaro Sato^1,2 (1.Fujitsu Labs., 2.Fujitsu)

Keywords:h-BN, CVD

今回、異なる条件の触媒薄膜を用いて化学気相成長法により合成したh-BN薄膜の絶縁特性の評価を実施したので詳細を報告する。